16. Tumenggung Surohadimenggolo VI 1803-1822. Dilantik pada masa pemerintahan Kanjeng Sinuwun Paku Buwana IV Raja Mataram Surakarta.
17. Tumenggung Surahadiningrat 1822-1836. Dilantik pada masa pemerintahan Kanjeng Sinuwun Paku Buwana V Raja Mataram Surakarta.
18. Tumenggung Reksonegoro 1836-1849. Dilantik pada masa pemerintahan Kanjeng Sinuwun Paku Buwana VII Raja Mataram Surakarta.
19. Tumenggung Suryakusumo 1849-1869. Dilantik pada masa pemerintahan Kanjeng Sinuwun Paku Buwana VII Raja Mataram Surakarta.
20. Tumenggung Reksodirjo 1869-1883. Dilantik pada masa pemerintahan Kanjeng Sinuwun Paku Buwana IX Raja Mataram Surakarta.
21. Tumenggung Purbaningrat 1883-1912. Dilantik pada masa pemerintahan Kanjeng Sinuwun Paku Buwana IX Raja Mataram Surakarta.
22. Tumenggung Tjokrodipuro 1912-1927. Dilantik pada masa pemerintahan Kanjeng Sinuwun Paku Buwana X Raja Mataram Surakarta.
23. Tumenggung Subijono 1927-1940. Dilantik pada masa pemerintahan Kanjeng Sinuwun Paku Buwana X Raja Mataram Surakarta.
24. R.M. Amin Sujitno 1940-1943. Dilantik pada masa pemerintahan Kanjeng Sinuwun Paku Buwana XI Raja Mataram Surakarta. Keadaan menjadi tegang pada masa pemerintahan pendudukan Jepang.
25. R.M.A.A. Soekarman Mertohadinegoro 1943-1945. Dilantik pada masa pemerintahan Kanjeng Sinuwun Paku Buwana XI Raja Mataram Surakarta.
26. R. Soedijono Taroena Koesoemo 1945-1946. Dilantik pada masa pemerintahan Presiden Soekarno. Awal kemerdekaan masih banyak hal yang perlu dibenahi.
27. M. Soemardjito Prijohadisoebroto 1946-1949. Dilantik pada masa pemerintahan Presiden Soekarno.
28. R.M. Condronegoro 1949. Dilantik pada masa pemerintahan Presiden Soekarno. Pemerintahan disibukkan oleh perang kemerdekaan.
29. M. Soemardjito Prijohadisoebroto 1949-1952. Dilantik pada masa pemerintahan Presiden Soekarno. Pasca perang kemerdekaan, kehidupan normal kembali.
30. R. Oetoyo Kusumo 1952-1956. Dilantik pada masa pemerintahan Presiden Soekarno. Pemimpin dan rakyat saling membantu.
31. Drs. Iswarto 1969-1979. Dilantik pada masa pemerintahan Presiden Soeharto. Pembangunan segala bidang sangat gencar dilakukan.
32. Ir. Soesmono Martosiswojo 1979-1985. Dilantik pada masa pemerintahan Presiden Soeharto. Suasana yang kondusif memperlancar proses pembangunan.
33. Drs. Sardjono 1985-1987. Dilantik pada masa pemerintahan Presiden Soeharto. Pertanian, perkebunan dan peternakan berkembang pesat.
34. Drs. Hartomo 1987-1992. Dilantik pada masa pemerintahan Presiden Soeharto. Kesejahteraan rakyat menjadi program utama.
35. Drs. Sudijatno 1992-1999. Dilantik pada masa pemerintahan Presiden Soeharto. Kepemimpinan periode ini mengalami masa transisi reformasi.
36. H. Bambang Guritno, S.E., M.M. 1999-2006. Dilantik didampingi pada masa pemerintahan Presiden Abdurrahman Wahid. Didampingi Wakil Bupati Ir HM Tamzil (2000-2003) dan Wakil Bupati Hj. Siti Ambar Fathonah (2005-2006). Kekompakan ditunjukkan dengan kerja keras.
37. Hj. Siti Ambar Fathonah, S.PdI 2006-2010. Dilantik didampingi pada masa pemerintahan Presiden Susilo Bambang Yudhoyono. Pimpinan daerah senantiasa membawa kesejukan dan kedamaian.
38. Dr. H. Mundjirin ES, Sp.OG 2010-2015. Dilantik didampingi pada masa pemerintahan Presiden Susilo Bambang Yudhoyono. Didampingi Wakil Bupati Ir. Warnadi, MM. Pimpinan pada periode ini selalu berpihak pada rakyat agar sejahtera lahir batin.
39. Dr. H. Mundjirin ES, Sp.OG 2015-2020. Dilantik didampingi pada masa pemerintahan Presiden Susilo Bambang Yudhoyono. Didampingi Wakil Bupati Ngesti Nugraha, SH. Kepemimpinan periode ini cukup banyak bermanfaat bagi rakyat.
Daftar bupati Semarang sebelum tahun 1945 tertulis secara jelas dalam kitab Jawa Kuna yang tersimpan dalam perpustakaan Reksa Pustaka Kraton Surakarta Hadiningrat.
Buuku buku literatur kuna tersebut tertulis dalam bahasa Jawa Kawi. Literatur warisan nenek moyang tersebut perlu dibaca, dikaji dan dihayati demi pengembangan ilmu pengetahuan. Kabupaten Semarang menjadi pusat pengkajian kawruh kasampurnan.
(LM-01)